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Intel美光25nm工藝晶圓廠一日游-英特爾,Intel,美光,25nm,NAND—... 2022-12-29
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Intel美光25nm工藝晶圓廠一日游2010-02-0410:05:48出處:快科技作者:Skyangeles編輯:Skyangeles評論(0)猜你想看:默認上周末,Intel、美光合資閃存制造企業IMFlashTechnologies,LLC(IMFT)宣布已經開始試制25bn工藝NAND閃存芯片。除了紙面宣布外,他們實際上還邀請了多家媒體到IMFT位于美國猶他州Lehi的25nm工藝晶圓廠進行參觀。位于雪山腳下的IMFT工廠工廠結構,制造半導體產品最關鍵的無塵室位于第三層,加壓吊頂形成由上向下的氣流,設備維護工作則在二層的SubFab層完成。進入無塵室之前的打包過程。(由于無塵室內部的嚴格要求,實際上以下內部照片均來自IMFT官方)晶圓廠內走廊,頂端的自動運輸系統(AMHS)正在以每小時13公里的速度將晶圓在各個制造環節間運輸,24小時不停歇。每個運載器都搭載了一個FOUP(前端開口片盒),其中可裝載最多25片300mm晶圓。廠內地面全部打孔,保證空氣從上向下流通,將落塵可能減到最小。FOUP片盒掛接在一個制造階段設備上,后面的那個正在被AMHS吊起。幾乎所有制造過程均為自動完成,因此廠內大部分工人的工作就是保證這些設備正常運行。化學機械拋光(CMP)車間照明受限的光刻車間一塊光刻掩膜,光刻過程簡單的說就是將這塊掩膜上圖案縮印到晶圓上。光刻過程中的校準實時缺陷監測(RDA)FOUP片盒中的300mm晶圓PCper記者手持一片25nm工藝300mm晶圓,總容量超過2TB。300mm晶圓每片閃存顆粒die容量為8GB(每格2GB),面積167平方毫米。Intel副總裁,NAND閃存業務總經理TomRampone手持25nm顆粒尺寸對比從左到右分別是:2003年130nm工藝128MB,2005年90nm工藝512MB,2007年50nm工藝1GB,2009年34nm工藝4GB以及現在的25nm工藝8GB閃存。最右側是標準的TSOP閃存封裝尺寸。使用25nm工藝閃存,只需要單die芯片即可造出Class10級SD卡。Intel計劃,今年將基于該閃存造出最大600GB的固態硬盤,而美光甚至計劃最大推出1TBSSD。微信公眾號搜索"驅動之家"加關注,每日最新的手機、電腦、汽車、智能硬件信息可以讓你一手全掌握。推薦關注!【微信掃描下圖可直接關注】

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